חיישן אינטרפרומטרי

סנסור אינטרפרומטר הינו מכשיר מדידה, המאפשר קבלת מידע מדויק מאד, אודות מיקום או זוית האובייקט הנמדד, מתוך תבניות ההתאבכות של האור המשודר כלפי המטרה מהחיישן. תבנית ההתאבכות היא תופעה פיזיקלית של סכימת גלי אור (או גלים אלקטרומגנטיים אחרים). באופן מעשי, נוצרת ההתאבכות על ידי פיצול האור המשודר לעבר המטרה. חלק מהאור חוזר אל המכשיר ישירות מקצה החיישן והחלק השני של האור, חוזר מהמטרה הנמדדת. אינטרפרומטריה היא אחת הדרכים המדויקות ביותר למדידת שינויים במיקום. באינטרפרומטריה משתמשים לציוד למדידה מדויקת של טיב פני שטח, מערכות לבדיקת וויפרים, מדידות ויברציה ועוד.